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陶瓷軸承型渦旋分子泵 UTM300B
采用了陶瓷軸承的復(fù)合翼型渦輪分子泵，通過控制器和泵體一體化設(shè)計(jì)，可以節(jié)省空間。優(yōu)良的高背壓特性，使輔助泵也可以小型化。渦輪分子泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、薄膜等工業(yè)領(lǐng)域。
所屬分類：
陶瓷軸承型
機(jī)械渦輪分子泵
關(guān)鍵詞：
陶瓷軸承型
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- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點(diǎn)
采用了陶瓷軸承的復(fù)合翼型渦輪分子泵，通過控制器和泵體一體化設(shè)計(jì)，可以節(jié)省空間。優(yōu)良的高背壓特性，使輔助泵也可以小型化。
|用途主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、薄膜等工業(yè)領(lǐng)域。
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|規(guī)格參數(shù)
型式 UTM-300B 泵本體 吸氣口 VG100,ICF152,ISO100-K 排氣口 KF25 排氣速度（L/sec） 280.0 極限壓力(n2)pa 烘烤前（*3） 10的負(fù)8次方 烘烤后 10的負(fù)6次方 壓縮比 >1×109 冷卻方式 自然空冷 / 強(qiáng)制空冷 質(zhì)量（kg） 約6-9.3 輔助泵排氣速度（L/h） 7.2以上 電源（D3型） 電源容量（KVA） DC24V-180W 入力電壓/頻率 |曲線圖
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