真空計(jì) SH200-A/R/E

SH200-A/R/E真空計(jì)是新系列的傳感器類型 "G-TRAN系列復(fù)合電離真空計(jì)"，可以實(shí)現(xiàn)不同的測量范圍。作為B-A型電離真空計(jì)、可以測量超高真空。保留了以往的寬幅測壓和低運(yùn)行成本的理念，但進(jìn)行了改進(jìn)，更加人性化。適用于各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域測量的電子元件和半導(dǎo)體等。

所屬分類：

全部產(chǎn)品

熱陰極真空計(jì)

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產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖

|特點(diǎn)

1、可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù);
2、小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級(jí)別最小的產(chǎn)品之一；
3、操作性的提高：通過與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等；
4、更強(qiáng)大的產(chǎn)品陣容：除模擬輸出規(guī)格（SH200-A）和串行通信規(guī)格（SH200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（SH200-E）；
5、燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～5×10-8Pa）（選配SWU10-R的情況下）；
6、可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí)）

|用途

1、用于各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的工藝監(jiān)控，包括半導(dǎo)體和電子元件；

2、用于具有多個(gè)處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力測量，例如in-line式和枚葉式；

3、高真空?超高真空設(shè)備的壓力測量。

|規(guī)格參數(shù)

型式	SH200-A	SH200-R	SH200-E
機(jī)型規(guī)格	標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格	串口通信規(guī)格	EtherCAT規(guī)格
適應(yīng)多離子傳感器	SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
可以連接的傳感器	多離子傳感器：1本皮拉尼真空計(jì)SWU10-R：1本（可選）大其他傳感器SAU：1本（可選）
測量精度（N2）	SH200本體模式：±2％
傳感器內(nèi)部容量	17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46)
使用溫度范圍	10～50℃
使用濕度范圍	15～80%(不結(jié)露)
保管溫度	-20～65℃(非通電時(shí)、不結(jié)露)
IP保護(hù)等級(jí)	IP30
電源電壓	DC20～28V (波紋，噪音1%以下)　 8W以下
輸入/輸出連接器	D-sub15銷（M2.6螺絲）
重量	調(diào)節(jié)器：約280g　測定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
外形尺寸W×D×H（mm）	69×63×90 (控制器部分)
備注