產(chǎn)品中心
低溫泵 CRYO-U20P
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
所屬分類：
愛發(fā)科
真空泵
低溫泵
愛發(fā)科低溫泵
關(guān)鍵詞：
愛發(fā)科
聯(lián)系我們
- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
-
|特點(diǎn)
1、低溫泵是通過在真空容器內(nèi)形成極低溫面，把容器內(nèi)的氣體分子冷凝、吸附在此低溫面上，將其從真空環(huán)境中除去的泵。
2、被冷凝氣體的飽和蒸汽和被吸附氣體的吸附平衡壓降至10-8pa以下時(shí)，低溫泵才能有效進(jìn)行抽氣。
3、這是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。
|用途用于半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域。
-
|規(guī)格參數(shù)
型式 CRYO-U20P CRYO-U22P CRYO-U22WB CRYO-U22H CRYO-U30H 排氣速度 @20℃ L/s 氬 10000.0 11500.0 13000.0 17000.0 28000 氫 18000.0 14000.0 16500.0 25000.0 43000 氬 8400.0 9700.0 11000.0 14000.0 23000 水 29000.0 39000.0 39000.0 39000.0 70000 極限壓力 Pa 10的負(fù)7次方 流量 Pa L/s 氬 1.1×103 1.7×103 3.5×103 4.1×103 2.7×103 氫 5.0×102 5.0×102 1.3×103 1.3×103 7.4×102 排氣容量 氬 5.8×108 5.8×108 8.1×108 8.1×108 7.8×108 氫 4.6×106 6.0×106 8.5×106 8.5×106 1.5×107 吸氣法蘭 UVG-500 UVG-550 冷卻下降時(shí)間 分 50/60Hz 180/160 180/170 165/150 150/135 240/200 質(zhì)量 KG 69 115 125 175 |曲線圖
上一頁
下一頁
上一頁
下一頁
相關(guān)產(chǎn)品
