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低溫冷阱 CRYO-TS系列

CRYO-T系列,是使用了1段式GM冷凍機(jī)的以排除水氣為目的的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同,從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

所屬分類:

愛發(fā)科

真空泵

愛發(fā)科低溫冷阱

關(guān)鍵詞:

愛發(fā)科


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  • 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
  • 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
  • |特點(diǎn)

    CRYO-T系列,是使用了1段式GM冷凍機(jī)的以排除水氣為目的的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同,從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

     

    |用途

    用于半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域。

  • |規(guī)格參數(shù)

     

    型式    CRYO-U4H CRYO-U6H CRYO-U8H CRYO-U10H
    排氣速度 @20 L/s        
           
           
           
    極限壓力 Pa    
    流量 Pa L/s        
           
    排氣容量          
           
    吸氣法蘭            
    冷卻下降時(shí)間          
    質(zhì)量 KG          

     

    |曲線圖

     

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