產(chǎn)品中心
螺桿泵 HR60
HR系列螺桿干泵是通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。
所屬分類：
愛發(fā)科
真空泵
干式真空泵
螺桿式真空泵
HR系列
螺桿干泵
關(guān)鍵詞：
愛發(fā)科
聯(lián)系我們
- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
-
|特點(diǎn)
1、高溫區(qū)域均熱化 實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出； UR系列可比HR系列更加高溫化；
2、氦氣密封 通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全；
3、瞬停對策 采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策；
4、出色的耐腐蝕性 主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內(nèi)部的腐蝕；
5、通信功能 可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。
|用途1、CVD裝置；
2、蝕刻裝置；
3、灰化裝置；
4、ALD、ALH 等。
-
|規(guī)格參數(shù)
型式 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200 使用泵 HR60 HR90 HR60 HR90 HR90 機(jī)械增壓泵 PRC-003A PRC-006A PRC-012A 最大排氣速度 50hz m3/h 62.0 112.0 359.0 653.0 1012.0 60hz m³/h 80.0 126.0 365.0 701.0 1051.0 極限壓力 Pa 5.0 0.7 電機(jī)電壓 V 200-220 額定功率 kW 冷卻水量 L/min >5.0 氣體吹掃 SLM 0~45 噪音值 dB(A) 進(jìn)氣口 VG50(KF50) VG80(KF50) VG80(KF80) VG100(KF100) 排氣口 KF40 重量 kg 尺寸 mm 備注 |排氣曲線圖
上一頁
下一頁
上一頁
下一頁
相關(guān)產(chǎn)品
