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工藝電源 RFS-1330N
RFS-N系列是輸出頻率13.56MHz、功率0.5kW/1/kW/3kW/5kW的等離子工藝用RF電源。裝載高效率RF放大器實現(xiàn)了小型·輕量化。另外，RF電源內置自動匹配控制器功能，僅從主機單元就可以對RF電源進行電力控制及匹配系統(tǒng)控制。
所屬分類：
愛發(fā)科
工藝電源
RF射頻電源
射頻電源
電源
關鍵詞：
愛發(fā)科
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- 產品特點和用途
- 產品參數(shù)和曲線圖
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|特點
1、高效率
配有高功率轉換效率的RF電路以節(jié)省能量。2、快速自動匹配
快速算法實現(xiàn)快速自動匹配。3、RF電源內置自動匹配功能
只有主機才能進行匹配系統(tǒng)控制。
可通過內置控制器手動控制RF電源和匹配器4、靈活的控制
外部模擬控制，可實現(xiàn)串聯(lián)通信控制。5、可靠性高
對作為設備制造商所積累的設計經(jīng)驗。|用途1、濺射設備
2、CVD設備
3、等離子蝕刻設備
4、RF離子源
5、中和劑
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|規(guī)格參數(shù)
型式 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N 入力樣式 輸入電壓 單相 AC180~242V 3相 AC180~242V 入力容量 1.2KVA 1.8KVA 5KVA 8KVA 輸出樣式 發(fā)振頻率 13.56 MHZ 額定進行波輸出（50Ω負荷時） 500W 1KW 3KW 5KW 最大發(fā)射波輸出 100W 500W 諧波失真率 -35db以下 控制精度 額定輸出的±2%以下 控制保證范圍 額定電力值的10~100% 冷卻方式 強制空冷 水冷（4L/min) 水冷（6L/min) 質量（Kg） 11 23 外形尺寸 W×D×H （mm） 240×495×150 （不含凸起物） 480×495×150 （不含凸起物） 備注 |曲線圖
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