機(jī)械渦輪分子泵 nEXT85 DN63

渦輪分子泵是一種多級(jí)軸流式渦輪機(jī)，其中的高速旋轉(zhuǎn)葉片通過(guò)增加氣體沿泵送方向移動(dòng)的可能性來(lái)實(shí)現(xiàn)壓縮。渦輪分子泵針對(duì)分子流量條件進(jìn)行了優(yōu)化，需要一個(gè)大小合適的前級(jí)泵排氣到大氣中。

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NEXT機(jī)械渦輪分子泵

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NEXT機(jī)械渦輪分子泵

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產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖

|特點(diǎn)

1、渦輪分子泵的選擇范圍，選用抽速為47至400Ls﹣1的渦輪分子泵，以及DN40至DN16的入口法蘭。

2、集成控制，分子泵和真空計(jì)集成式控制器可實(shí)現(xiàn)對(duì)泵和最多3個(gè)真空計(jì)的完全控制，并且能夠?qū)崿F(xiàn)完整的串行遠(yuǎn)程通信。

3、排氣閥選項(xiàng)，可選擇的渦輪分子泵排氣閥可作為泵車組件的一部分訂購(gòu)。

4、用戶可維護(hù)，所有nEXT渦旋分子泵和前級(jí)泵均可完全由用戶維修。

5、堅(jiān)固的金屬框架，帶有鎖定腳輪的全金屬框架堅(jiān)固并且便于移動(dòng)的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，包括安全臺(tái)式操作工作臺(tái)安裝套件。

6、前級(jí)泵選擇，前級(jí)泵可選1m﹣3h﹣1抽速的油封旋片泵或干式泵。

7、低震動(dòng)，后備泵安裝在防震動(dòng)底座上，能夠有效降低前級(jí)泵振動(dòng)對(duì)小車產(chǎn)生的影響。

|用途

除了應(yīng)對(duì)一般的研發(fā)市場(chǎng)（有時(shí)需要更快的抽速）外，這些泵還設(shè)計(jì)用于滿足涂層市場(chǎng)和其他擴(kuò)散市場(chǎng)領(lǐng)域的要求，例如熱處理、熔爐應(yīng)用、電子束焊接、蝕刻、離子植入、排氣和氣瓶抽空。

|規(guī)格參數(shù)

型式		nEXT85 DN40	nEXT85 DN63	nEXT240	nEXT300	nEXT400
峰值抽速 Ls-1	N2	47.0	84.0	240.0	300.0	400.0
	Ar	44.0	80.0	230.0	280.0	380.0
	He	61.0	78.0	340.0	340.0	290.0
	H2	49/44(D/H)	60/54(D/H)	280.0	280.0	325.0
壓縮比	N2	>1011		>1011(D&T)
	Ar	>1011		>1011(D&T)
	He	8×106 / 2×107(D/H)		3×105 / 106(D/T)	106 / 3×106(D/T)	108 / >108(D/T)
	H2	2×105 / 5×105(D/H)		104 / 105(D/T)	5×104 / 105(D/T)	5×105 / 106(D/T)
極限真空（CF）	mbar	<5×10-10
最大允許前級(jí)壓力	mbar	18		9.5 / 20（D/T）
電機(jī)最大功耗	W	80（范圍50-120）		160（范圍50-200）
電機(jī)工作電壓	V（直流）	24 - 48
電機(jī)額定轉(zhuǎn)數(shù)	rpm	9000		6000
進(jìn)氣法蘭		NW40	ISO63 / CF63	ISO100 / CF100		ISO160 / CF160
排氣法蘭		NW16		NW25
啟動(dòng)到全速時(shí)間	s	115			145	175
冷卻方式		自然冷卻 / 強(qiáng)制風(fēng)冷 / 水冷
控制器通訊接口		RS232,485 / I /O
質(zhì)量	kg	3	3 或 4.5	6 或 9		7 或 10
備注