磁懸浮渦輪分子泵 STP451 DN160

STP系列磁懸浮渦輪分子泵因其質(zhì)量和可靠性在市場(chǎng)上享有極高的聲譽(yù)，并且是許多具挑戰(zhàn)性的半導(dǎo)體應(yīng)用的分子泵。對(duì)于實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用，STP磁懸浮渦輪分子泵極為可靠，并且超長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行而無(wú)需維護(hù)。

所屬分類：

STP磁懸浮渦輪分子泵

磁懸渦輪浮分子泵

關(guān)鍵詞：

STP磁懸浮渦輪分子泵

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產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖

|特點(diǎn)

1、振動(dòng)低，磁懸浮意味著無(wú)摩擦，因此振動(dòng)極低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而變化。

2、無(wú)油，使用磁力軸承，因此無(wú)需使用任何碳?xì)浠衔餄?rùn)滑劑。

3、自動(dòng)平衡系統(tǒng)，愛(ài)德華5軸磁懸浮泵能夠動(dòng)態(tài)調(diào)整磁場(chǎng)，從而防止轉(zhuǎn)子失衡。

4、免維護(hù)，零摩擦意味著無(wú)磨損，因此在正常操作中無(wú)需進(jìn)行任何日常維護(hù)。

5、耐腐蝕性能，大多數(shù)愛(ài)德華 STP 磁懸浮渦旋分子泵還提供鍍鎳涂層的內(nèi)部過(guò)流部件和氮?dú)獯祾咴O(shè)備的專用耐腐蝕型號(hào)，是化學(xué)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的理想選擇。

|用途

除了應(yīng)對(duì)一般的研發(fā)市場(chǎng)（有時(shí)需要更快的抽速）外，這些泵還設(shè)計(jì)用于滿足涂層市場(chǎng)和其他擴(kuò)散市場(chǎng)領(lǐng)域的要求，例如熱處理、熔爐應(yīng)用、電子束焊接、蝕刻、離子植入、排氣和氣瓶抽空。

|規(guī)格參數(shù)

型式		STP301 DN100	STP451 DN160	STP603 DN160	STP1003 DN200	STPiX457 DN100	STPiX457 DN160	STPiX3006 DN250	STPiX3006 DN320
峰值抽速 Ls-1	N2	300.0	480.0	650.0	1000.0	300.0	450.0	2300.0	2700.0
	H2	300.0	460.0	550.0	800.0	300.0	460.0	2600.0	2700.0
壓縮比	N2	>108
	H2	2×104		>105		1×104		6×104
極限真空（CF）	mbar	<5×10-10
最大可處理氣體流量 N2	sccm	/				120		1000
連續(xù)運(yùn)行允許最大入口壓力	mbar	6.7×10-4		1.3×10-4		1.3×10-3		/
最大允許前級(jí)壓力	mbar	0.13				0.67		1.33
電機(jī)最大功耗	W	350		800		240		1500
電機(jī)額定轉(zhuǎn)數(shù)	rpm	48000		35000		55000		27000
進(jìn)氣法蘭		ISO100或CF100	ISO160或CF160	ISO160或CF160	ISO200或CF200	ISO100或CF100	ISO160或CF160	ISO250或CF250	ISO320 或 CF320
排氣法蘭		NW25		NW40		NW25		NW40
從啟動(dòng)到加速90%的轉(zhuǎn)數(shù)所需時(shí)間	s	180		360		480		840
冷卻方式		自然冷卻 / 強(qiáng)制風(fēng)冷 / 水冷				自然冷卻/強(qiáng)制風(fēng)冷		/
控制器通訊接口		RS232 / I /O
質(zhì)量	kg	11	12	31 kg		16		84	87
備注