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氣體分析儀 CGM-051
CGM系列分析儀適合于濺射設(shè)備的工藝管理（品質(zhì)管理、提高效率）。
所屬分類：
愛發(fā)科
濺射工藝
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氣體分析儀
關(guān)鍵詞：
愛發(fā)科
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- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點(diǎn)
1、適用于各種濺射系統(tǒng)的工藝監(jiān)控
2、Air Leak監(jiān)控
3、殘留水分管理
4、無需差動(dòng)排氣系統(tǒng)（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）
5、內(nèi)置顯示屏：無需PC可單獨(dú)操作使用
6、可進(jìn)行高靈敏度泄漏測(cè)試（CGM2-052）
7、可進(jìn)行全壓測(cè)定
8、操作簡(jiǎn)單-One Click功能
9、標(biāo)配Qulee QCS軟件
10、支持CE標(biāo)準(zhǔn)|用途1、適用于濺射設(shè)備的殘余氣體分析、工藝監(jiān)控和雜質(zhì)管理(H2O)。
2、用于濺射設(shè)備的泄漏測(cè)試。 -
|規(guī)格參數(shù)
型式 CGM2-051 CGM2-052 CGM2-101 CGM2-102 質(zhì)量數(shù)范圍 1～50 amu 1～100 amu 1～50 amu 1～100 amu 靈感度 0.1uA/Pa 0.1mA/Pa 最小檢知分壓 1x10-7Pa 1x10-10Pa 最大使用壓力 2Pa 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM) 線性 1Pa 全壓力測(cè)量功能 有 一鍵檢漏功能 有 電源電壓 DC24V±10％ 50W 最大烘烤可能溫度
(傳感器單元連接時(shí))120℃ 最大烘烤可能溫度
(傳感器單元移除時(shí))250℃ 使用溫度范圍 10～40℃ 接口 Ethernet 軟件 Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）適用 備注 |曲線圖
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