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真空計 SW100N-R

皮拉尼真空計是利用氣體的熱傳導來進行壓力測量的恒溫型皮拉尼真空計,可測量低真空到中真空的真空領域。主要應用于半導體、電子元件、真空爐、光伏、制冷、照明等行業(yè)領域。

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皮拉尼真空計

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  • 產(chǎn)品特點和用途
  • 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
  • |特點

    1、可測范圍廣:從大氣壓至5×10的負2次方Pa;
    2、傳感器與控制器不分一體化:節(jié)省空間、降低能耗;
    3、輸入電壓:DC24V;標準的0-10V線性壓力輸出,可直接OLC使用;
    4、帶有LED故障顯示;
    5、傳感器更簡單,可由客戶自行更換;
    6、SW1-N1型帶有2個設定點信號輸出;SW1-N2型帶有RS-232C,RS-485通信功能;
    7、金屬外殼,散熱性好;
    8、測量精度高,±10%。

    |用途

    1、可用于半導體、電子元件為首的各種制造裝置的低真空領域的過程管理;
    2、可用于真空爐為首的各種產(chǎn)業(yè)機器的低真空領域的過程管理;
    3、可用于連續(xù)性、多樣性工作室的各種制造設備的低真空領域的過程管理;
    4、可用于光伏、制冷、照明行業(yè)。

  • |規(guī)格參數(shù)

     

    型式  SW100N-A SW100N-R
    機型 標準型 串行通信型
    可測量范圍 5.0×10-2~1.0×1+5 Pa
    測量值的輸出 輸出電壓DC0-10V  電力顯示1.7V-0.8V   LOG輸出1V/位
    串行通信   RS-485 / RS-232C
    通信速度   9600 / 19200 /38400 bps
    記憶功能   通過EEPROM備份
    測量精度 1×10-1Pa~1×10+4Pa±10%     1×10+4pa~1×10+5Pa 、5×10-2Pa~1×10-1pa ±20%
    外形尺寸(mm) 70*46*28(控制器)
    備注  

     

    |曲線圖

     

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