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低溫泵 IS XVS 320F
低溫泵具有超卓的氫氣抽取性能，可提高工藝產(chǎn)量和吞吐量，為當(dāng)今的離子注入應(yīng)用挑戰(zhàn)提供出色的解決方案。低溫泵的內(nèi)置智能系統(tǒng)控件可確保獲得更好的工藝質(zhì)量、真空一致性和工作時間，同時提供實時的系統(tǒng)信息以優(yōu)化陣列溫度的控制。通過自動適應(yīng)不斷變化的熱/氣負(fù)載條件，提高真空質(zhì)量。
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低溫泵
愛德華低溫泵
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愛德華
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- 產(chǎn)品特點和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點
320FX：
1、分布式控制系統(tǒng)可監(jiān)測并不斷調(diào)整低溫泵系統(tǒng)的各個元件
2、保持優(yōu)質(zhì)的全系統(tǒng)真空性能，提供出色的流程一致性
3、無論是單泵還是多泵配置，再生速度都很快 能源和冷卻水消耗低，卻不犧牲真空性能
4、易于實現(xiàn)系統(tǒng)集成
5、快速完成生產(chǎn)安裝
6、增強的遠(yuǎn)程監(jiān)測功能，可進行預(yù)防性和預(yù)測性維護
320F XVS：
1、再生過程之間的 H2 抽速波動變小
2、減少光刻膠污染對 H2 抽速的影響
3、優(yōu)化、穩(wěn)定的陣列溫度
|用途用于半導(dǎo)體、平板和光學(xué)設(shè)備制造的精密低溫泵系統(tǒng)。
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|規(guī)格參數(shù)
型式 320FX 320F XVS 最大排氣速度 L/sec 氬 3800.0 2400.0 氫 15500.0 12500.0 空氣 4800.0 3600.0 水 1100.0 11000.0 極限壓力 Torr <1.0×10-8 最大流量 L 氫 40 30 / 40 電機功率 VAC 200/230 吸氣法蘭 ISO 320mm 質(zhì)量 KG 45.5 |曲線圖
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