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羅茨泵 GR60A
GR系列羅茨干泵是以獲得良好業(yè)績(jī)和信賴的LR/HR系列為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的泵。
所屬分類：
愛(ài)發(fā)科
多級(jí)羅茨型真空泵
GR系列
多級(jí)羅茨型干泵
干式真空泵
關(guān)鍵詞：
愛(ài)發(fā)科
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- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點(diǎn)
1、可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域，可在高負(fù)荷下持續(xù)使用；
2、適用load lock室（裝載/卸載室），可實(shí)現(xiàn)高吞吐量；
3、感應(yīng)電機(jī)可通用；
4、可以安裝防爆電機(jī)等特殊電機(jī)（可選）；
5、采用多電壓兼容電機(jī)。
|用途1、空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣；
2、各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣；
3、真空干燥，真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)；
4、真空氣體置換，如真空熱隔絕和氣體填充。
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|規(guī)格參數(shù)
型式 LR60A LR90A LR180A 最大排氣速度 m3/h 50hz 62.0 112.0 183.0 m³/h 60hz 80.0 126.0 237.0 極限壓力 Pa 5.0 電機(jī)電壓 V 50hz：200~240/380~415；60hz：200~240/380~460 額定功率 kW 2.2 3.7 7.5 冷卻水量 L/min >5.0 氣體吹掃 SLM 5.0 *4 噪音值 dB(A) 進(jìn)氣口 VG50 VG80 排氣口 NW40 重量 kg 128 188 268 尺寸 備注 |排氣曲線圖
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