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工藝電源 A2K-20K
A2K系列是在反應(yīng)性濺射工藝中，在DC電源輸出上脈沖施加正電壓，中和靶材上的積蓄電荷來防止異常放電的附加單元。能在原來的電源上簡單的追加，低成本實現(xiàn)產(chǎn)量和良率提高。
所屬分類：
愛發(fā)科
工藝電源
DC電源
異常放電防止單元
電源
關(guān)鍵詞：
愛發(fā)科
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- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點(diǎn)
1、高產(chǎn)量
通過減少異常放電可以輸入更高功率2、基板損傷減少
能夠減少電弧引起的基板損3、控制基板的問題
與RF濺射相比，可以降低基板溫度4、簡單的連接性
可以連接到現(xiàn)有設(shè)備5、可變的反向脈沖頻率
A2KH-25/50：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz范圍內(nèi)可使用6、脈沖同步系統(tǒng)
可以輸出多個A2K單元的同步脈沖 *2 *37、主從連接可實現(xiàn)大容量
A2K-20K、40K多達(dá)可以6臺并聯(lián)運(yùn)行|用途1、FPD用反應(yīng)濺射設(shè)備
2、工業(yè)涂層用反應(yīng)濺射設(shè)備
3、彩色TFT用反應(yīng)濺射設(shè)備
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|規(guī)格參數(shù)
型式 A2KH-25 A2K-20K A2K-40K 控制電源入力規(guī)格 輸入電壓 單相 AC90~110V 單相AC90~264V 入力容量 100AV 400AV 入力規(guī)格 動作電壓 -800v 動作電流 25A 50A 100A 入力結(jié)構(gòu) MS3106B 22-2P 一般式接口 1系統(tǒng) 一般式接口 2系統(tǒng) 冷卻方式 強(qiáng)制空冷 質(zhì)量（Kg） 16 30 45 外形尺寸 W×D×H （mm） 238×450×149（不含凸起物） 483×630×177 （不含凸起物） 備注 |曲線圖
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