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真空泵機組

旋片真空機組是以泵為主泵,以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。旋片真空機組選用的旋片泵作為前級泵,因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點,而且同時保留了羅茨泵能迅速工作,有比較大抽氣速率等優(yōu)點。因為該機組的結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小,所以可以代替多臺機械真空泵,因此旋片泵機組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆炸性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學(xué)反應(yīng)的也不會含有顆粒塵埃的氣體。

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