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螺桿泵 MS120A
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計。
所屬分類：
愛發(fā)科
真空泵
干式真空泵
螺桿式真空泵
MS系列
螺桿干泵
關(guān)鍵詞：
愛發(fā)科
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- 產(chǎn)品特點和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點
1、通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕；
2、采用ULVAC獨特設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸，實現(xiàn)高性能的排粉；
3、從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。
|用途1、半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等；
2、真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等；
3、鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等；
4、醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。
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|規(guī)格參數(shù)
型式 MS-120A MS-600A MS-1200A 排氣速度 m3/h 115.0 560.0 980.0 極限壓力 Pa ≦0.6 ≦0.1 電機電壓 V 200V ：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or；400V ：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% 額定功率 kW 2.4 3.1 冷卻水量 L/min 4.0 氣體吹掃 SLM 噪音值 dB(A) 61 62 64 進氣口 KF50 / VG50 ISO-F-80 ISO-F-100 排氣口 KF40 重量 kg 139 241 264 尺寸 mm 備注 |排氣曲線圖
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