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磁懸浮渦輪分子泵 UTM1200A
采用磁懸浮控制器一體型，通過泵本體與控制器一體化，實(shí)現(xiàn)了省配線，省空間等優(yōu)點(diǎn)。渦輪分子泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、薄膜等工業(yè)領(lǐng)域。
所屬分類：
控制器一體型
磁懸渦輪浮分子泵
關(guān)鍵詞：
控制器一體型
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- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點(diǎn)
1、采用磁懸浮控制器一體型分子泵；通過泵體的本體與控制器一體化，實(shí)現(xiàn)了省配線，省空間。
2、推出排氣速度1000L/s-3000L/s種類；
3、不需要將泵體和控制器直接配上復(fù)雜的配線；
4、自由安裝方向，沒有安裝方向的限制，所以裝置設(shè)計(jì)的自由擴(kuò)大；
5、泵回轉(zhuǎn)數(shù)可在25-100%的范圍變更，因此能夠調(diào)整腔體壓力；
6、用于Light工藝的廣域大流量設(shè)計(jì)；
7、有高耐久性和安全性。|用途主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、薄膜等工業(yè)領(lǐng)域。
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|規(guī)格參數(shù)
UTM-1200A UTM-1600A UTM-2300A UTM-3400A 吸氣口 VG150 / ISO160F VG200-250 / ISO200-250F VG250 / ISO250F VG300-350 / ISO320F 排氣口 KF40 排氣速度*2、*3（L/sec） N2 1030.0 1400.0 2100.0 3200.0 Ar 980.0 1330.0 2000.0 3100.0 H2 660.0 750.0 1380.0 2100.0 極限壓力(n2)pa 10的負(fù)7次方 壓縮比 N2 2×108 1×108以上 1×109以上 He 7×103 5×103 1×105 H2 8×102 9×102 6×103 冷卻方式 水冷 噪音（db） 57 60 質(zhì)量（kg） 43 41 56 94 輔助泵排氣速度（L/h） 36.00以上 90.00以上 回轉(zhuǎn)數(shù)（rpm) 37200 33700 27600 啟動(dòng)時(shí)間 8分鐘以內(nèi) 9分鐘以內(nèi) 16分鐘以內(nèi) 外部控制 遠(yuǎn)程接口 D-sub25PIN,接點(diǎn)入輸出 D-sub37PIN,接點(diǎn)入輸出 串行接口 專用圓形接口，RS232C/RS485 D-sub9PIN,RS232C/RS485 控制器 構(gòu)成 與泵本體一體（內(nèi)裝與底部） 電源 單相AC220-240V±10%（50/60Hz） 輸出 0.75KVA 1.2KVA 冷卻水流量（L/min) 3-4 |曲線圖
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