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低溫泵 CRYO-U10H
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
所屬分類：
愛發(fā)科
真空泵
低溫泵
愛發(fā)科低溫泵
關(guān)鍵詞：
愛發(fā)科
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- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點(diǎn)
1、低溫泵是通過在真空容器內(nèi)形成極低溫面，把容器內(nèi)的氣體分子冷凝、吸附在此低溫面上，將其從真空環(huán)境中除去的泵。
2、被冷凝氣體的飽和蒸汽和被吸附氣體的吸附平衡壓降至10-8pa以下時(shí)，低溫泵才能有效進(jìn)行抽氣。
3、這是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。
|用途用于半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域。
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|規(guī)格參數(shù)
型式 CRYO-U4H CRYO-U6H CRYO-U8H CRYO-U10H 排氣速度 @20℃ L/s 氬 450.0 750.0 1700.0 2400.0 氫 500.0 1100.0 2700.0 3600.0 氬 370.0 620.0 1400.0 2000.0 水 1100.0 2100.0 4000.0 6900.0 極限壓力 Pa 10的負(fù)7次方 流量 Pa L/s 氬 1.3×103 1.1×103 1.2×103 1.3×103 氫 1.1×102 2.4×102 1.5×102 排氣容量 氬 1.0×107 5.6×107 1.0×108 1.0×108 氫 1.5×105 3.1×105 1.0×106 1.2×106 吸氣法蘭 ISO-K DN100 UVG-150,UFC-203 UVG-200,6BANSIUFC-253 UVG-250 冷卻下降時(shí)間 分 50/60Hz 45/40 80/70 100/90 110/100 質(zhì)量 KG 14.5 19 20.8 29 |曲線圖
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