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低溫泵 CRYO-U12H
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
所屬分類：
愛發(fā)科
真空泵
低溫泵
愛發(fā)科低溫泵
關(guān)鍵詞：
愛發(fā)科
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- 產(chǎn)品特點和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點
1、低溫泵是通過在真空容器內(nèi)形成極低溫面，把容器內(nèi)的氣體分子冷凝、吸附在此低溫面上，將其從真空環(huán)境中除去的泵。
2、被冷凝氣體的飽和蒸汽和被吸附氣體的吸附平衡壓降至10-8pa以下時，低溫泵才能有效進行抽氣。
3、這是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。
|用途用于半導(dǎo)體、電子機器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域。
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|規(guī)格參數(shù)
型式 CRYO-U12H CRYO-U12HSP CRYO-U16 CRYO-U16P CRYO-U20H 排氣速度 @20℃ L/s 氬 4000.0 4100.0 5000.0 10000 氫 6000.0 6000.0 10000.0 18000 氬 3300.0 3400.0 4200.0 8400 水 9500.0 9500.0 16000.0 29000 極限壓力 Pa 10的負7次方 流量 Pa L/s 氬 2.0×103 2.0×103 1.4×103 1.6×103 1.7×103 氫 4.1×102 4.1×102 4.1×102 4.5×102 5.0×102 排氣容量 氬 2.1×108 4.4×108 4.3×108 4.3×108 5.8×108 氫 9.8×105 1.6×106 2.4×106 2.4×106 4.6×106 吸氣法蘭 UVG-300,10BANSI UVG-300,10BANSI UVG-400 UVG-500,20BANSI ISO-500 冷卻下降時間 分 50/60Hz 85/75 90/80 110/100 120/110 160/140 質(zhì)量 KG 40 42 61 72 |曲線圖
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