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工藝電源 DC-5P
DC-P系列是對(duì)反應(yīng)性工藝中產(chǎn)生的電弧有效的電源。由于設(shè)定了的周期性反轉(zhuǎn)輸出電壓，中和靶材表面積蓄的電荷，實(shí)現(xiàn)了良率和產(chǎn)能的提高。
所屬分類：
愛發(fā)科
工藝電源
DC脈沖電源
電源
關(guān)鍵詞：
愛發(fā)科
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- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點(diǎn)
1、高產(chǎn)量
通過減少異常放電可以輸入更高功率2、基板損傷減少
能夠減少電弧引起的基板損壞3、可變的反向脈沖頻率
可在10kHz至250kHz范圍內(nèi)使用4、主/從連接允許大容量
多達(dá)可以6臺(tái)并聯(lián)運(yùn)行（可以使用相同型號(hào)）5、DC輸出也可以
PULSE功能停止后，也可以當(dāng)作極低電弧性能的DC電源使用|用途1、FPD用反應(yīng)濺射設(shè)備
2、工業(yè)涂層用反應(yīng)濺射設(shè)備
3、彩色TFT用反應(yīng)濺射設(shè)備
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|規(guī)格參數(shù)
型式 DC-2 DC-4 DC-5P DC-10P 入力樣式 輸入電壓 3相 AC180~242V 三相 AC187~229V 入力容量 3.5KVA以下 6.2KVA以下 8kVA 13.5kVA 輸出樣式 最大額定輸出 2kw 4kw 5kw 10kw 額定電流 5A 10A 12.5A 25A 額定電壓 -800v -650v / -800v 點(diǎn)火電壓 -1200V -1500V 異常放電控制 當(dāng)檢測到異常放電時(shí)變頻器停止 控制 控制方式 恒功率控制（P控制）/恒流控制（I控制）/恒壓控制（V控制） 控制精度 設(shè)定值的±1% 額定輸出±0.5%以下或設(shè)定值的±1%，以大的值為準(zhǔn) 控制保證范圍 額定功率值的1至100% 額定功率值的10至100% 冷卻方式 強(qiáng)制空冷 質(zhì)量（Kg） 15 29 36 外形尺寸 W×D×H （mm） 241×610×133 （不含凸起物） 483×630×133 （不含凸起物） 備注 |曲線圖
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