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工藝電源 MFU-20K
MFU-20K是通過(guò)與ULVAC制DC電源組合，將直流輸出轉(zhuǎn)換為雙極脈沖輸出的單元。以低成本實(shí)現(xiàn)良率和產(chǎn)量的提高。
所屬分類：
愛(ài)發(fā)科
工藝電源
MF中頻電源
電源
關(guān)鍵詞：
愛(ài)發(fā)科
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- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點(diǎn)
1、頻率范圍寬
可以在10kHz～100kHz的范圍內(nèi) ※12、主/從連接允許大容量
多達(dá)可以進(jìn)行6臺(tái)并行操作3、可以DC輸出
輸入DC電源的輸出可以照原樣施加到陰極 ※2|用途1、FPD用反應(yīng)濺射設(shè)備
2、工業(yè)涂層用反應(yīng)濺射設(shè)備
3、彩色TFT用反應(yīng)濺射設(shè)備
4、一般濺射設(shè)備
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|規(guī)格參數(shù)
型式 MFU-20K 控制電源入力 輸入電壓 單相 AC90~264V 入力容量 400VA 入力規(guī)格 動(dòng)作電壓 0 ~ -1000V 最大動(dòng)作電流 50A 點(diǎn)火電壓 -1200V 輸出規(guī)格 最大輸出電壓 1000V（RMS） 點(diǎn)火電壓 DC-1200V 最大輸出電流 50A 冷卻方式 強(qiáng)制空冷 質(zhì)量（Kg） 29 外形尺寸 W×D×H （mm） 483×630×177 （不含凸起物） 備注 |曲線圖
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