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工藝電源 RMG-1303
RMG-1303是適用于RF濺射、CVD、刻蝕等，等離子工藝的13.56MHz，300W功率的匹配器一體式RF電源。匹配器和RF電源一體化設(shè)計(jì)，體積小、重量輕。適用于從研究開發(fā)設(shè)備到量產(chǎn)設(shè)備的廣泛領(lǐng)域。
所屬分類：
愛發(fā)科
工藝電源
RF射頻電源
RF電源匹配器一體機(jī)
電源
關(guān)鍵詞：
愛發(fā)科
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- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
-
|特點(diǎn)
1、可通過低輸出功率進(jìn)行控制
2、可通過1W的低輸出功率進(jìn)行控制
3、標(biāo)準(zhǔn)配備脈沖RF輸出功能
4、標(biāo)準(zhǔn)搭載500Hz～100KHz的脈沖RF輸出功能，可在低功率下進(jìn)行控制
5、標(biāo)配外部同步端子
6、標(biāo)準(zhǔn)搭載端子（BNC端子），用于疊加操作的13.56MHz同步信號的輸入和輸出
7、AC100V至AC220V 的廣泛輸入
單相 100V 至 220V / 50Hz 至 60Hz 的廣泛輸入
8、體積小、重量輕
200mm×200mm×350mm / 10Kg的小型輕量電源
9、支持各種規(guī)格
RoHS,CE,KC,SEMI-F47兼容|用途1、濺射設(shè)備
2、CVD設(shè)備
3、等離子清洗設(shè)備
4、等離子刻蝕設(shè)備
5、等離子去膠設(shè)備
6、RF離子源
7、射頻中和器 -
|規(guī)格參數(shù)
電源功能部分
型式 RMG-1303 額定輸入電壓 單相50/60hz AC100V~220V 額定輸入容量 700VA 泄漏電流 5mA 以下 輸入接口 IEC60320-C14 振蕩頻率 13.56MHz±0.01% *1 額定行波功率 300W (50Ω負(fù)載時) 額定反射波功率 80W 功率穩(wěn)定性 ±1%以內(nèi)或±2W以內(nèi)的較大值(50Ω負(fù)載) 冷卻方式 風(fēng)扇強(qiáng)制空冷 備注 可輸出500Hz～100KHz的脈沖RF 匹配器功能部分
型式 RMG-1303 額定功率 300W 額定電流 10Arms 額定電壓 2500Vpp/±2500Vdc(標(biāo)準(zhǔn)) *2 輸出電極 2-M4(標(biāo)準(zhǔn))?N?HN?DIN7/16 *3 匹配精度 VSWR1.2或者3W以下 備注 可選擇變更額定電壓 可選擇更改為連接器輸出類型 |曲線圖
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