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工藝電源 MBX-系列
MBX系列是屬于RFS系列專用匹配箱
所屬分類：
愛(ài)發(fā)科
工藝電源
RF射頻電源
匹配器
電源
關(guān)鍵詞：
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- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點(diǎn)
1、高效率 配有高功率轉(zhuǎn)換效率的RF電路以節(jié)省能量。
2、快速自動(dòng)匹配 快速算法實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)匹配。
3、RF電源內(nèi)置自動(dòng)匹配功能 只有主機(jī)才能進(jìn)行匹配系統(tǒng)控制。
4、可通過(guò)內(nèi)置控制器手動(dòng)控制RF電源和匹配器
5、靈活的控制 外部模擬控制，可實(shí)現(xiàn)串聯(lián)通信控制。
6、可靠性高 對(duì)作為設(shè)備制造商所積累的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)。
|用途1、濺射設(shè)備
2、CVD設(shè)備
3、等離子蝕刻設(shè)備
4、RF離子源
5、中和劑
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參數(shù)
型式 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N 允許入力電力 30~500W 30~1KW 30~3KW 50~5KW 允許輸出電流 30A 80A 120A 允許輸出電壓 2.5KV pp 5KV pp 10KV pp 冷卻方式 強(qiáng)制空冷 水冷（2L/min) 質(zhì)量（Kg） 8 10 21 外形尺寸 W×D×H （mm） 375×250×120 （不含凸起物） 375×250×170 （不含凸起物） 450×500×248 （不含凸起物） 備注
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