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螺桿泵 NRL90A
NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。低噪音、低振動(dòng)，優(yōu)良的耐腐蝕性。主要應(yīng)用于刻蝕、濺射鍍膜、單晶爐、冷凍干燥等行業(yè)領(lǐng)域。
所屬分類：
真空泵
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螺桿式真空泵
NRL系列
螺桿干泵
愛發(fā)科
關(guān)鍵詞：
真空泵
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- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點(diǎn)
1、NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣；
2、低噪音、低振動(dòng)，優(yōu)良的耐腐蝕性；
3、標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度；
4、可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮?dú)饬髁块_關(guān)、泵溫傳感器。
|用途1、活性氣體（CVD、刻蝕等）；
2、排出非活性氣體（濺射鍍膜、 蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）；
3、用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）；
4、作為前級(jí)泵使用（渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵）；
5、冷凍干燥等水蒸氣排氣。
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|規(guī)格參數(shù)
型式 NRL60A NRL90A NLR180A 排氣速度 m3/h 50hz 70.0 116.0 200.0 m³/h 60hz 84.0 140 240 極限壓力 Pa 5.0 電機(jī)電壓 V 額定功率 kW 2 冷卻水量 L/min 5 氣體吹掃 SLM 噪音值 dB(A) 進(jìn)氣口 VG50 VG80 VG80 排氣口 NW40 重量 kg 128 188 268 尺寸 mm 備注 |排氣曲線圖
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