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螺桿泵 NRL180A
NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。低噪音、低振動，優(yōu)良的耐腐蝕性。主要應用于刻蝕、濺射鍍膜、單晶爐、冷凍干燥等行業(yè)領域。
所屬分類：
真空泵
干式真空泵
螺桿式真空泵
NRL系列
螺桿干泵
愛發(fā)科
關鍵詞：
真空泵
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- 產品特點和用途
- 產品參數(shù)和曲線圖
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|特點
1、NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣；
2、低噪音、低振動，優(yōu)良的耐腐蝕性；
3、標準零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度；
4、可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。
|用途1、活性氣體（CVD、刻蝕等）；
2、排出非活性氣體（濺射鍍膜、 蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）；
3、用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）；
4、作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）；
5、冷凍干燥等水蒸氣排氣。
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|規(guī)格參數(shù)
型式 NRL60A NRL90A NLR180A 排氣速度 m3/h 50hz 70.0 116.0 200.0 m³/h 60hz 84.0 140 240 極限壓力 Pa 5.0 電機電壓 V 額定功率 kW 2 冷卻水量 L/min 5 氣體吹掃 SLM 噪音值 dB(A) 進氣口 VG50 VG80 VG80 排氣口 NW40 重量 kg 128 188 268 尺寸 mm 備注 |排氣曲線圖
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