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羅茨泵 LR60
LR系列羅茨干泵是通過低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
所屬分類：
真空泵
干式真空泵
多級羅茨型真空泵
LR系列
多級羅茨型干泵
愛發(fā)科
關(guān)鍵詞：
真空泵
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- 產(chǎn)品特點和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
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|特點
1、低溫區(qū)域均熱化（LR系列） 在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵；
2、氦氣密封 通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全；
3、瞬停對策 采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策；
4、出色的耐腐蝕性 主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕；
5、通信功能 可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。
|用途1、成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）；
2、縮短備料下料室的排氣時間；
3、作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）.
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|規(guī)格參數(shù)
型式 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T 排氣速度 m3/h 50hz 62.0 112.0 183.0 440.0 m³/h 60hz 80.0 126.0 237.0 極限壓力 Pa 5.0 電機電壓 V 三相：200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) 三相：180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)額定功率 kW 冷卻水量 L/min 5 氣體吹掃 SLM 噪音值 dB(A) 進氣口 VG50(KF50) VG80(KF50) VG100 排氣口 KF40 VG50 重量 kg 180 245 335 415 尺寸 備注 |排氣曲線圖
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