產(chǎn)品中心
羅茨泵 LR90
LR系列羅茨干泵是通過(guò)低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
所屬分類：
真空泵
干式真空泵
多級(jí)羅茨型真空泵
LR系列
多級(jí)羅茨型干泵
愛(ài)發(fā)科
關(guān)鍵詞：
真空泵
聯(lián)系我們
- 產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
- 產(chǎn)品參數(shù)和曲線圖
-
|特點(diǎn)
1、低溫區(qū)域均熱化（LR系列） 在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵；
2、氦氣密封 通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全；
3、瞬停對(duì)策 采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策；
4、出色的耐腐蝕性 主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕；
5、通信功能 可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。
|用途1、成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）；
2、縮短備料下料室的排氣時(shí)間；
3、作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）。
-
|規(guī)格參數(shù)
型式 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T 排氣速度 m3/h 50hz 62.0 112.0 183.0 440.0 m³/h 60hz 80.0 126.0 237.0 極限壓力 Pa 5.0 電機(jī)電壓 V 三相：200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) 三相：180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)額定功率 kW 冷卻水量 L/min 5 氣體吹掃 SLM 噪音值 dB(A) 進(jìn)氣口 VG50(KF50) VG80(KF50) VG100 排氣口 KF40 VG50 重量 kg 180 245 335 415 尺寸 備注 |排氣曲線圖
相關(guān)產(chǎn)品
