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DIS系列渦旋泵是雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行，可實(shí)現(xiàn)高極限真空，低振動(dòng)低噪音，維護(hù)周期可通過計(jì)時(shí)表控制。主要應(yīng)用于分析設(shè)備、涂裝設(shè)備、氦氣檢漏儀、半導(dǎo)體制造工藝等領(lǐng)域。