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NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。低噪音、低振動,優(yōu)良的耐腐蝕性。主要應(yīng)用于刻蝕、濺射鍍膜、單晶爐、冷凍干燥等行業(yè)領(lǐng)域。
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